Mikrosystemtechnik, entstanden aus der Ergänzung der Mikroelektronik durch andere Mikrotechniken, ermöglicht heute die Realisierung vollständiger Systeme für unterschiedlichste Anwendungen auf klei…
Mikrosystemtechnik 1st Edition
Author(s): Alfons Botthof; Joachim Pelka
Publisher: Springer
ISBN: 9783540001560
Edition: 1st Edition
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